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低温泵的再生
超低温泵
超低温泵的前级泵还应能够处理再生过程中产生的气体量,而不会将杂质带入真空系统。因此,真空泵在运行时应无油无磨损。
产品建议
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超低温泵的前级泵
前级真空和再生
在超低温泵再生过程中,通往超高真空室的阀门关闭,泵升温至环境温度。之前结合的分子再次解吸,回到气相。此时,前级泵必须将释放的气体抽出,然后尽可能降低真空度,以便再次冷却超低温泵。
因此,设计前级泵的极限真空和最大流量时,必须同时考虑到前级真空的产生和低温泵的再生。
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