涂层
在涂层工艺中，洁净真空对于避免不必要的污染非常重要。我们的无油真空泵非常适用于低至10-3 mbar 的范围，并可作为涡轮分子泵的前级泵。
真空镀膜工艺
用于高质量涂层的洁净真空
PVD 或 CVD 等各种涂层工艺都需要真空。所需的工艺真空从低真空范围（大气至 1 mbar）到高真空范围（10-3至 10-7mbar）不等。
为了避免涂层受到污染，洁净真空对涂层工艺非常重要。因此，无油真空泵是首选，以避免油蒸汽的不利影响。同样重要的是确保真空泵不会产生任何进入真空系统的磨损。
如果使用腐蚀性介质，泵还应具有耐化学腐蚀性。
对于低至 1 mbar 的压力范围，隔膜泵完全可以满足所有这些要求。对于低至10-3 mbar 的压力范围，螺杆泵是最佳选择。
这两种泵也是高压和超高压系统的理想前级泵。